低温等离子净化器是等离子体协同催化技术的核心部分，它形状和大小直接影响VOCs的去除能力。Ye等采用线-板式和平行板式反应器在相同的操作条件下降解甲苯废气，结果发现线板式反应器对甲苯的去除率和副产物O3的产量都高于平行板式反应器。由电晕放电的特性如：曲率半径小，起始电压越低，因此在相同操作条件下，线板式反应器的电晕放电程度高于平行板式反应器，线板式反应器的放电面积大于平行板式，在获得相同的电场强度条件下，平行板式反应器需要较高的供电电压，且O3的产量也影响甲苯的降解率，放电面积大有利于臭氧的形成。水分是VOCs废气的重要组成部分，在VOCs废气中，一般认为水含量在5%以上。水分子在低温等离子空气净化器中可以与高能电子碰撞，分解为·OH和·H自由基。一方面，生成的·OH量随着水含量的增高而增加，随之VOCs的去除率增加；

    另一方面，水是电负性物质，水含量增高时会抑制高能电子的能量和数量，导致反应中的活性物种泯灭，所以在低温等离子净化器中等离子体去除VOCs废气反应中，应控制合适的湿度，研究水蒸气对等离子体协同催化降解甲苯的影响，实验结果发现水分子与污染分子竞争吸附在催化剂的表面，掩蔽了催化剂的活性中心，同时抑制催化剂催化降解O3生成原子氧，甲苯的去除率随着水含量的增加而下降。