低温等离子净化器是利用高能电子与气体分子（或原子）发生非弹性碰撞，将能量转换成基态分子（或原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程，使气体处于活化状态。电子能量小于10eV时，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应被脱除。当电子平均能量超过污染物分子化学键结合能时，分子链断裂，污染物分解。
低温等离子体净化器去除苯系物气体的基本原理为：当低温等离子净化器中的电子能量大于苯系物气体分子的化学键键能时，分子发生断裂而分解，同时高能电子激发产生的O·和·OH等自由基。由于O·和·OH等自由基具有很强的氧化性，最终可将苯系物气体转换为一氧化碳、二氧化碳和水。低温等离子净化器能够降解脂肪族、芳香族、氯化物、氟化物、含氢化合物等挥发性有机物。
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